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廢氣來源有
生產車間、設備、實驗室、活性氣混合裝置、氣瓶中的殘留等；所謂的廢氣處理，是指將這些地方產生的廢氣進行處理，從而不侵害到環境和動植物的健康。
廢氣處理的基本準則
首先將廢氣處理成安全狀態，即成為無毒、不燃后再進行處理。廢氣處理應該把災害降低到最小，盡量減少或避免對環境的危害；特別是大中型企業因需要使用到大量氣體，隨之產生大量廢氣，故應建立廢氣處理裝置和處理系統，為人類的健康和環境的安全做出一份努力。
砷烷、磷烷、硼烷和硅烷等，有毒、易燃，氫氣具有強的燃燒爆炸性，氯氣、氯化氫和氟化氫#氟化氫#具有強腐蝕性等；對于上述這些氣體不僅要注意防止環境污染，而且還要注意排放周邊的安全性。
廢氣處理步驟
混入惰性氣體氮氣，使殘余氣體性狀成惰性，可以避免引起燃爆；經過此步驟，活性氣體含量必須限于0.1%，氫氣含量低于1%。進入空氣/丙烷或者空氣/甲烷燃燒器中燒掉混合后的氣體。對煙霧進行過濾除塵對于無危險性的氣體，可選擇適當地方，直接排放到大氣中。
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